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更新時間：2025-10-16 
瀏覽次數(shù)：34SANKO自動附著試驗機(jī)的核心定位是：為各類材料提供客觀、精確、可重復(fù)的附著力定量測量解決方案。 它通過標(biāo)準(zhǔn)化的測試方法，取代了傳統(tǒng)主觀性強(qiáng)的劃格法、膠帶法等定性測試，廣泛應(yīng)用于以下行業(yè)：
半導(dǎo)體與微電子： 晶圓上的薄膜、光刻膠、鈍化層等。
汽車工業(yè)： 車身涂料、電泳層、零部件鍍層。
航空航天： 熱障涂層、功能性涂層。
一般工業(yè)： 油漆、涂料、油墨、電鍍、PVD/CVD涂層等。
其核心價值在于：
量化結(jié)果： 提供精確的附著力強(qiáng)度數(shù)值（如MPa或N/mm2），便于不同批次、不同工藝間的精確對比。
客觀公正： 完的全排除人為主觀判斷因素，測試結(jié)果可靠、可審計。
高重復(fù)性與再現(xiàn)性： 自動化過程確保了測試條件的高度一致。
SANKO自動附著試驗機(jī)通常采用 “拉伸拉開法" ，這是目前國的際的公的認(rèn)的最的可的靠的附著力測試方法之一（如ASTM D4541, ISO 4624）。
1. 工作原理簡述：
準(zhǔn)備： 使用專用的快干、高強(qiáng)度膠粘劑，將一個特定尺寸的測試錠（或稱拉拔頭）粘附在待測涂層表面。
對接： 儀器的工作臺自動上升，使測試錠與儀器的拉力軸精準(zhǔn)對中并夾緊。
施力： 儀器以一個恒定且可控的速率，施加垂直于涂層表面的拉力。
測量與記錄： 高精度的傳感器持續(xù)監(jiān)測拉力值，直到涂層被拉脫或拉斷。儀器記錄下失效瞬間的最大拉力值。
分析： 通過測量到的最大拉力和測試錠的橫截面積，自動計算出附著力強(qiáng)度。同時，通過觀察測試錠和樣品表面的失效模式，可以進(jìn)一步分析失效原因。
2. 主要技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)勢：
高精度驅(qū)動與傳感系統(tǒng)： 采用伺服電機(jī)或類似高精度驅(qū)動系統(tǒng)，確保施力過程平穩(wěn)、速度精確。配備高分辨率負(fù)載傳感器，力值測量精準(zhǔn)。
全自動化操作： 從對位、夾緊、施力到數(shù)據(jù)記錄全過程自動化，大大提高了測試效率，并降低了操作誤差。
多種測試錠規(guī)格： 提供多種直徑（如20mm, 10mm, 5mm, 2mm等）的測試錠，以適應(yīng)不同附著強(qiáng)度、不同測試區(qū)域的樣品。小尺寸錠尤其適合半導(dǎo)體等微區(qū)測試。
智能數(shù)據(jù)分析軟件：
自動計算： 自動計算附著力強(qiáng)度。
失效模式識別： 軟件通常會輔助操作員記錄失效類型（如：A-內(nèi)聚破壞 within coating, B-附著破壞 at interface, C-膠粘劑破壞等），這對于故障分析至關(guān)重要。
數(shù)據(jù)管理： 存儲測試數(shù)據(jù)、曲線，并生成詳細(xì)的測試報告。
用戶安全與便利性設(shè)計： 通常配備安全防護(hù)罩、緊急停止按鈕，并具有自診斷功能，確保操作安全。人機(jī)交互界面簡潔直觀。
在半導(dǎo)體制造中，薄膜的附著力是決定器件可靠性和良率的關(guān)鍵參數(shù)。SANKO自動附著試驗機(jī)在此領(lǐng)域扮演著重要角色：
測試對象：
CVD/PVD薄膜： 如TiN, TiW, Al, Cu等金屬布線層和阻擋層的附著力。
介電材料： 如SiO?, Si?N?等絕緣層的附著力。
光刻膠： 與底層之間的結(jié)合力，影響光刻圖形精度。
應(yīng)用場景：
新工藝開發(fā)： 在引入新的沉積技術(shù)、前處理工藝或新材料時，定量評估其對附著力的影響。
質(zhì)量控制： 作為在線或離線檢測項目，監(jiān)控生產(chǎn)線薄膜附著力的穩(wěn)定性，防止批量性剝離失效。
可靠性評估： 在進(jìn)行溫度循環(huán)、濕度測試等環(huán)境試驗后，檢查薄膜附著力的退化情況。
| 測試方法 | 原理 | 結(jié)果 | 優(yōu)點(diǎn) | 缺點(diǎn) |
|---|---|---|---|---|
| SANKO自動拉開法 | 垂直拉伸 | 定量（力值/強(qiáng)度） | 客觀、精確、可量化、數(shù)據(jù)可追溯 | 設(shè)備成本高，需使用膠粘劑，準(zhǔn)備時間稍長 |
| 劃格法/膠帶法 | 劃格后膠帶拉扯 | 定性（等級0-5） | 快速、簡便、成本低 | 主觀性強(qiáng)，無法精確量化，對高硬度高附著力涂層不敏感 |
日本SANKO自動附著試驗機(jī)代表了附著力測試領(lǐng)域的高精度與自動化水平。它通過標(biāo)準(zhǔn)化的拉伸測試，將原本模糊的“附著力好壞"轉(zhuǎn)化為精確的工程數(shù)據(jù)，為研發(fā)、質(zhì)量控制和失效分析提供了強(qiáng)有力的科學(xué)依據(jù)。
無論是在半導(dǎo)體、汽車、航空航天等高的端制造領(lǐng)域，還是在一般的表面處理行業(yè)，它都是確保產(chǎn)品涂層可靠性、提升工藝水平和實現(xiàn)數(shù)據(jù)化質(zhì)量管理不的可的或的缺的關(guān)鍵設(shè)備。
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