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更新時(shí)間：2025-12-16 
瀏覽次數(shù)：14山田光學(xué)（YAMADA）推出的YP-250I和YP-150I高亮度鹵素?zé)艄庠囱b置是專為半導(dǎo)體及精密制造行業(yè)設(shè)計(jì)的表面缺陷檢測設(shè)備。這兩款產(chǎn)品憑借其出色的光學(xué)性能和可靠性，已成為晶圓、液晶基板等精密材料表面質(zhì)量控制的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工具。一、核心用途：精密表面缺陷檢測YP系列鹵素?zé)舻暮诵挠猛臼菫楹暧^目視檢查提供高強(qiáng)度照明，幫助檢測人員發(fā)現(xiàn)硅晶片、玻璃基板等精密材料表面的微觀缺陷。這些缺陷包括：劃痕與異物顆粒：可檢測小于0.2μm的微小瑕疵拋光不均勻：識(shí)別CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）工藝后的表面平整度問題霧度與滑移：發(fā)現(xiàn)液晶基板透光性缺陷及晶體滑移線該系列通過提供超過400,000勒克斯（Lx）的超高照度，使這些在普通照明下難以察覺的缺陷清晰可見。二、技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)勢1. 超高亮度照明系統(tǒng)照度突破：在照射距離140mm（YP-150I）或220mm（YP-250I）處，照度可達(dá)400,000Lx以上高色溫：鹵素?zé)羯珳丶s3400K，光線穩(wěn)定銳利，還原真實(shí)缺陷形貌均勻照明：光學(xué)設(shè)計(jì)確保照明區(qū)域內(nèi)照度不均性極小，避免漏檢誤判
2. 熱管理創(chuàng)新采用 冷鏡技術(shù) 將熱量影響降低至傳統(tǒng)鋁鏡的1/3，有效保護(hù)熱敏感樣品（如光刻膠涂層晶圓），同時(shí)提升檢測人員操作舒適度。3. 靈活的操作設(shè)計(jì)兩段式切換：一鍵快速切換高低照度模式，適應(yīng)不同缺陷類型的觀察需求可選冷卻方式：YP-250I提供螺旋槳風(fēng)扇式或管道風(fēng)扇式兩種冷卻方案，可根據(jù)潔凈室環(huán)境要求靈活配置三、典型應(yīng)用場景1. 半導(dǎo)體制造全流程質(zhì)量控制晶圓表面缺陷檢測：在切割、封裝前進(jìn)行最終目視檢查，確保成品率光刻工藝檢查：檢測曝光后圖案完整性及表面污染CMP后檢查：識(shí)別拋光液殘留、劃痕等常見缺陷研發(fā)實(shí)驗(yàn)室：為新材料、新工藝開發(fā)提供高精度照明支持2. 液晶與顯示面板行業(yè)用于檢測液晶基板的表面劃痕、霧度不均、顆粒污染等問題，確保顯示效果。3. 精密光學(xué)元件檢測適用于玻璃透鏡、光學(xué)窗口等透明材料的表面質(zhì)量評(píng)估
四、型號(hào)對比與選型建議
| 參數(shù) | YP-150I | YP-250I |
| ---------- | ------------ | ----------- |
| **照明范圍** | φ30mm | φ60mm |
| **適用晶圓尺寸** | 6英寸及以下 | 8英寸及以下 |
| **典型應(yīng)用** | 小尺寸樣品、局部精細(xì)檢測 | 大尺寸樣品、全表面掃描 |
| **冷卻方式** | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | 螺旋槳或管道風(fēng)扇可選 |
| **重量** | 約1.85kg | 約2.7kg |
選型建議：YP-150I：適合實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、小批量6英寸晶圓檢測或?qū)植繀^(qū)域進(jìn)行高倍率觀察的場景YP-250I：適合8英寸晶圓量產(chǎn)線、需要更大照明范圍的全表面快速檢測場景五、在精密制造業(yè)中的核心價(jià)值提升檢測效率：超高照度使缺陷識(shí)別速度提升3-5倍，減少人員疲勞降低漏檢率：可檢測0.2μm級(jí)缺陷，顯著改善質(zhì)量控制水平兼容潔凈環(huán)境：管道風(fēng)扇型可外接排風(fēng)系統(tǒng)，避免氣流擾動(dòng)潔凈室環(huán)境投資回報(bào)明確：通過提高產(chǎn)品良率，通常在3-6個(gè)月內(nèi)即可收回設(shè)備投資結(jié)語山田光學(xué)YP-250I和YP-150I高亮度鹵素?zé)魬{借其光學(xué)性能、人性化設(shè)計(jì)和可靠品質(zhì)，已成為半導(dǎo)體、液晶等精密制造領(lǐng)域重要的檢測工具。隨著制程技術(shù)向更優(yōu)良節(jié)點(diǎn)發(fā)展，對表面缺陷檢測的要求愈發(fā)嚴(yán)苛，YP系列通過持續(xù)的技術(shù)迭代，將繼續(xù)為微觀結(jié)構(gòu)觀察和質(zhì)量控制提供高質(zhì)量的照明解決方案
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