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otsukael分光橢偏儀 旋轉分析器 膜厚計 紫外光譜儀

otsukael分光橢偏儀 旋轉分析器 膜厚計FE-5000/5000S的介紹

除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

  • 產品型號：FE-5000/5000S
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2023-04-14
  • 訪  問  量：1021
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otsukael分光橢偏儀 旋轉分析器 膜厚計FE-5000/5000S的介紹

otsukael分光橢偏儀 旋轉分析器 膜厚計FE-5000/5000S的介紹



除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。



特征

  • 可在紫外-可見（300 至 800 nm）波長范圍內測量橢圓參數(shù)

  • 能夠分析納米級多層薄膜的膜厚

  • 通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜

  • 支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析

  • 通過創(chuàng)建光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性

 

測量項目

  • 橢圓參數(shù)（tanψ，cosΔ）測量

  • 光學常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析

  • 膜厚分析

 

測量對象

  • 半導體ウェーハ
    ゲート酸化薄膜，窒化膜
    SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
    レジストの光學定數(shù)(波長分散)

  • 化合物半導體
    AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン

  • FPD
    配向膜

  • 各種新素材
    DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜

  • 光學薄膜
    TiO2，SiO2，反射防止膜

  • リソグラフィー分野
    g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価


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