一、從“看得清”到“測得準(zhǔn)”：半導(dǎo)體照明的第二次革命28 nm → 14 nm → 7 nm → 3 nm，線寬逼近原子級，光學(xué)檢測卻必須面對三大矛盾：
照度越高，熱漂移越大；
波長越短，芯片壽命越短；
積分時間越短，信噪比越差。
SENA 用 SELONE N 系列給出新答案：
? 在 400-700 nm 可見區(qū)輸出 3.8×10? lx(@100 mm WD)，比傳統(tǒng) 200 W 鹵素提升 2.3 倍；
? 燈體表面溫升 < 8 °C，無需主動風(fēng)冷；
? 壽命 50 000 h，L70 光衰 < 5 %，是鹵素的 16 倍；
? 支持 0-100 % 無級調(diào)光、10 kHz 高頻斬波，可幀同步、線同步、脈沖同步。
一句話：把“太陽級”照度裝進(jìn)一顆冷光源，讓半導(dǎo)體量測/檢測/對準(zhǔn)系統(tǒng)在不升溫的前提下跑出“極限幀率”。
二、核心技術(shù)拆解
多晶 CUD(Copper-on-Diamond)基板
? 熱導(dǎo)率 650 W/m·K，比 AlN 高 4 倍，結(jié)溫直降 18 °C；
? 基板厚度 0.3 mm，可把 120 W 電功率壓縮到 12 mm×12 mm 發(fā)光面，實現(xiàn) 10 W/mm² 功率密度。
8 通道窄波矩陣 LED? 405/450/505/530/590/625/660/740 nm 八波段獨立可控；? 每通道 16 bit 調(diào)光，可在 1 ms 內(nèi)切換“明場→暗場→紅外穿透”三種照明模式，無需機(jī)械濾光輪。
Fly-Eye 積分棒 + 微透鏡陣列
? 出光面不均勻度 < 2 %(Φ100 mm 靶面)；
? 遠(yuǎn)心度 < 0.05°，與高精度 Telecentric Lens 匹配，邊緣視場測量誤差 < 30 nm。
主動電源閉環(huán)
? 內(nèi)置積分球采樣器，每 10 µs 讀取一次光通量，實時補(bǔ)償 LED 結(jié)點老化、驅(qū)動溫漂；
? 30 min 穩(wěn)定性 ±0.1 %，滿足 SEMI S2 量測級光源要求。
三、半導(dǎo)體典型用途
Overlay 套刻對準(zhǔn)
? 590 nm+660 nm 雙波同軸照明，抗 Cu/Al 柵格眩光；
? 照度 3.8×10? lx，對準(zhǔn)相機(jī)積分時間從 5 ms 縮至 1.2 ms，套刻誤差預(yù)算降低 0.3 nm。
2 E-beam 寫場前預(yù)對準(zhǔn)
? 405 nm 短波高吸收，對 TaN 標(biāo)記對比度提升 40 %；
? 10 kHz 頻閃與束閘同步，避免連續(xù)照明造成光刻膠漂移。
3 電子封裝 ABF 缺陷檢測
? 740 nm 近紅外穿透 120 µm 黑色 ABF，可一次性檢出 5 µm 氣泡/異物；
? 八波段分時頻閃，替代 4 組鹵素+濾光片，檢測 UPH 提升 28 %。
4. 3D NAND 深孔 CD-SEM 前預(yù)檢
? 505 nm 窄波配合暗場散射，提前發(fā)現(xiàn) 50 nm 深孔橋接，減少 SEM 復(fù)檢 35 %。
5.Micro-bump 共面性量測
? 530 nm 綠光+結(jié)構(gòu)化條紋，實現(xiàn) 0.5 µm 高度分辨率，與白光干涉儀相關(guān)性 R=0.99，速度提升 5 倍。
四、落地數(shù)據(jù)
• 國內(nèi) 12″ 邏輯廠 14 nm 產(chǎn)線
– 替換 250 W 鹵素，單臺節(jié)省 1.2 kW 功耗，全年省電 10 萬度；
– 光源維護(hù)周期從季度延長到 3 年，OEE + 2.1 %。
存儲器龍頭 3 nm pilot
– SELONE N 405 nm 通道與 EUV 曝光機(jī)預(yù)對準(zhǔn)模塊集成，對準(zhǔn)標(biāo)記捕獲率由 97 % 提升到 99.5 %；
– 單批次 25 片 wafer 預(yù)對準(zhǔn)時間縮短 18 s，折算年化產(chǎn)能 + 1.8 萬片。
五、選型與集成指南
出光方式
? 光纖版本：Φ8 mm 液芯光纖，彎曲半徑 50 mm，適合機(jī)械手內(nèi)照明；
? 直線版本：內(nèi)置 45° 反射鏡，高度 35 mm，可直接替換傳統(tǒng)鹵素?zé)魧?dǎo)軌。
2 控制接口
? 標(biāo)配 Ethernet/IP + Modbus TCP，提供 LabVIEW/MATLAB 驅(qū)動；
? 硬件觸發(fā)：5 V TTL，延遲 < 100 ns，抖動 < 50 ns。
3 熱管理
? 自然散熱可滿足 50 % 占空比；
? 100 % 連續(xù)輸出時，外接 1 L/min 水冷板即可把殼溫控制在 35 °C 以下。
4 安全與認(rèn)證
? IEC 62471 Exempt 等級，表面無 UV 泄露；
? SEMI S2/S8、CE、RoHS 全部通過，可直接上 FAB 二次配。
六、結(jié)語
當(dāng) EUV、High-NA、GAA 成為頭條，人們?nèi)菀缀雎裕?0 % 的良率損失仍來自“測不準(zhǔn)”。SELONE N 用一顆冷光源把照度推向 10? lx 量級，讓“可見光”在 3 nm 時代繼續(xù)擔(dān)當(dāng)守門員——它不搶風(fēng)頭，卻能讓 overlay 再穩(wěn) 0.3 nm，讓缺陷再小 2 µm，讓產(chǎn)能再多 3 %。
在半導(dǎo)體制造的納米長跑里，SELONE N 就是那束不發(fā)熱的“冷太陽”，照亮每一道關(guān)鍵工序，也照亮良率與成本的下一個拐點。
更新時間：2026-01-26 
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